Mitarbeiter der Professur
- Mikrosystemtechnik (Entwurf, Charakterisierung, Komponenten- und Systemsimulation)
- fluidische MEMS
- Inertialsensoren und Sensoranwendung
- Mikroantriebe
- Administration
- Arbeitsschutzbeauftragter
- Technikverantwortlicher der Professur
- Medizintechnik
- Entwurf, Modellierung, Simulation und Charakterisierung von MEMS- Komponenten
- Entwicklung von Simulationsmethoden für MEMS
- Medizintechnik
- Entwurf, Modellierung und Simulation von MEMS- Komponenten
- Entwicklung von Simulationsmethoden für MEMS
- Simulation ANSYS
- Simulation
- Entwicklung von Simulationsmethoden für MEMS
- Medizin
- Biomedizinische Technik
- Sekretariat
- Mess- und Prüftechnik
- Optik
- Medizintechnik
- Laserschutzbeauftragter