Professur Mikrotechnologie
Mikrotechnologien
Professur Mikrotechnologie 

Mikrotechnologien

Prof. Dr. K. Hiller, Dr. A. Bertz

Inhalte

  1. 1 Überblick zur Mikrosystemtechnik & Trends
    1. 1.1 Definitionen zu MIkrosystemen / Komponenten / Sensoren / Aktoren
    2. 1.2 Übersicht zu Mikrotechnologien
    3. 1.3 Wirkprinzip
    4. 1.4 Materialien
  3. 2 Fertigungstechnologien der Mikrosystemtechnik
    1. 2.1 Elektronik / Mikroelektronik / Si-Mikromechanik
    2. 2.2 Reinraum / Umfeld
    3. 2.3 Spezielle Verfahren der Mikroelektronik / Si-Mikromechanik
      1. 2.3.1 Diffusion
      2. 2.3.2 Lithografie / Maskenherstellung / LIGA
      3. 2.3.3 PVD
      4. 2.3.4 CVD
      5. 2.3.5 Oxidation
      6. 2.3.6 Ionenimplantation
      7. 2.3.7 Galvanik
      8. 2.3.8 Strukturübertragung / Ätzen
      9. 2.3.9 Waferbonden
      10. 2.3.10 Packaging / Aufbau- und Verbindungstechnik AVT / bumps
      11. 2.3.11 Weitere Technologien
      12. 2.3.12 Messtechnik
  5. 3 Technologiebeispiele für spezielle Anwendungen
    1. 3.1 Mikromechanische Drucksensoren
    2. 3.2 Mikromechanische Beschleunigungssensoren
    3. 3.3 Gyroskope
    4. 3.4 Strahlungssensoren
    5. 3.5 Temperatur-Sensoren
    6. 3.6 Mikromechanische Aktoren
      1. 3.6.1 Spiegel
      2. 3.6.2 Tintenstrahldruckkopf
      3. 3.6.3 RF-MEMS
      4. 3.6.4 Schalter
    8. 3.7 Spezielle Beispiele
      1. 3.7.1 Magnetfeldsensoren
      2. 3.7.2 Chemische Sensoren
      3. 3.7.3 Flusssensoren
  7. 4 Mikrosysteme / Hybride / Monolithische Integration

Empfohlene Literatur

  • S. Büttgenbach: Mikromechanik, Teubner Studienbücher Stuttgart (1991 und 1994)
  • A. Heuberger: Mikromechanik, Springer Verlag (1991)
  • P. Hauptmann: Si-Sensoren, Hauser-Verlag (1990)
  • G. Schumicki, P. Seegebrecht: Mikroelektronik-Prozeßtechnologie, Springer-Verlag (1991)
  • G. Gerlach, W. Dötzel, Abschnitt 3: T. Geßner: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, C. Hanser Verlag (1997)
  • M. Kasper: Mikrosystementwurf, Springer-Verlag (2000)
  • G. T. A. Kovacs: Micromachined Transducers, WCB, Mc Grow-Hill (1998)
  • G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - ein Kursbuch für Studierende, Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag (2006)
  • U. Mescheder: Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Teubner Verlag (2004)

Skripte

Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studenten bzw. Mitarbeiter der Technischen Universität Chemnitz zugänglich.

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