Ausstattung:
Präparation & Wachstum: (Organische Schichten / Dielektrische Filme / Magnetische Filme / 2D Materialien)
Flow Boxes | SG Deibel, SG Zahn | |
Glove Boxes (Inert) | SG Deibel, SG Zahn | |
Chem Benches | SG Tegenkamp, SG Zahn | |
Spin Coater | SG Zahn, SG Deibel | |
Sputter Coater | SG Tegenkamp | |
Ion Milling | SG Tegenkamp | |
CVD | SG Salvan, SG Zahn, SG Seyller | |
MBE | SG Hellwig, SG Deibel, SG Seyller | |
Sputter deposition | SG Hellwig, SG Seyller | |
E-Beam (metal) and thermal evaporation (organic, semiconductors, metal) | SG Deibel |