Forschungsprojekte
Die Forschungsaktivitäten des Lehrstuhls für Mikrotechnologie auf dem Gebiet der
- Mikro- und Nanoelektronik und der
- Mikrosysteme / Smart Systems
sind eng an das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz gebunden. Detaillierte Informationen finden Sie unter den Forschungsthemen und Projekten des ZfM.