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Professur Mikrofertigungstechnik
Abtragende Verfahren und Fertigungseinrichtungen
Professur Mikrofertigungstechnik 

Lehr- und Forschungsgruppe – Abtragende Verfahren und Fertigungseinrichtungen

Portrait: André Martin
André Martin
Leiter der Lehr und Forschungsgruppe AVF – Abtragende Verfahren und Fertigungseinrichtungen

Forschungsschwerpunkte

Elektrochemisches Abtragen (ECM)

  • Mikrostrukturierung von metallischen Werkstücken mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl (Jet-ECM) oder gepulstem Strom (PECM)
  • Dreh-, Bohr-, Fräs-, Schneid- und Senkbearbeitungen möglich
  • Herstellung funktionaler Oberflächen zur Optimierung von Reibungs- und Wärmeübertragungseigenschaften sowie für Mikrofluidikanwendungen
  • Einsatz einer selbst entwickelten CAD-CAM-Software

Mikro-Funkenerosion (Micro-EDM)

  • Nutzung des Materialabtrags durch sehr kurze elektrische Funkenüberschläge
  • Hochpräzise Bearbeitung unabhängig von Härte und Zähigkeit des Werkstückmaterials
  • Ermöglicht die Fertigung sehr tiefer Mikrostrukturen mit komplexen Geometrien, z.B. Bohrungen mit Hinterschnitten, Düsengeometrien etc.
  • Durchmesser ab ca. 50 µm, Aspektverhältnis 20 und mehr
  • Zusätzliche Optimierung des Prozesses durch Schwingungsüberlagerung mit Niederfrequenz oder Ultraschall
  • Bearbeitung von elektrisch nichtleitenden Keramiken durch spezielle Techniken möglich

Laserstrahlabtragen (LBM)

  • Hochpräzise Fertigung von Oberflächenstrukturen durch Laserabtrag
  • Laserbohren, -schneiden, -entgraten und Oberflächenhärten
  • Erweiterte Bearbeitungsvielfalt durch Verfahrenskombination Laser und Zerspanung
  • Bearbeitung unterschiedlicher Materialien mit einer Geschwindigkeit bis zu 2,0 m/s möglich

Plasmaelektrolytisches Polieren (PeP)

  • Polieren planarer und komplex geformter Oberflächen elektrisch leitfähiger Bauteile
  • Hohe Maßhaltigkeit durch geringen Volumenabtrag
  • Globale Polituren im Tauchverfahren (Bad-PeP)
  • Lokale Polituren im Freistrahlverfahren (Jet-PeP) mit einstellbarer Rauheit und reduzierter elektrischer Leistungsaufnahme
Mikroskopaufnahmen von PeP-bearbeiteten Oberflächen
Mikroskopaufnahmen von Jet-PeP-bearbeiteten Oberflächen
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