Forschungsschwerpunkte

An der Professur Mikrosysteme und Medizintechnik wird schwerpunktmäßig zu folgenden Themen geforscht:

• Entwurf von Mikrosystemen und deren Applikation in eine Geräteumgebung
• Modellierung, Simulation und experimentelle Validierung des Verhaltens mikromechanischer Sensoren und Aktoren
• Mess- und Prüftechnik für Mikrosysteme
• Entwicklung von Entwurfswerkzeugen und -methoden
• mechanische Beanspruchung, Lebensdauer, Zuverlässigkeit
• Charakterisierung von MEMS und feinwerktechnischen Strukturen