Forschungsthemen
Auf dieser Seite wollen wir Ihnen einen kleinen Überblick geben über Forschungsthemen, die aktuell an der Professur bearbeitet werden oder bis vor kurzem bearbeitet wurden.
Mikromechanisches Schrittschaltwerk
REM-Aufnahmen mit Detailvergrößerung
Das mikromechanische Schrittschaltwerk ist die Umsetzung bzw. die Miniaturisierung eines aus der Feinwerktechnik bekannten Mechanismus mit Mitteln und Technologien der Mikrosystemtechnik. Der Grundwerkstoff ist einkristallines Silizium, welches sich durch seine hohe Festigkeit und ein linear elastisches Verhalten auszeichnet. Somit sind Ermüdungserscheinungen der bewegten Elemente nahezu ausgeschlossen.
Das Schrittwerk besteht aus einem schwenkbaren Zahnsegment (A) und zwei Eingriffselementen zum Schalten und Sperren, der Schaltklaue (B) und der Sperrklaue (C). Der schrittweise Bewegungsablauf, eine Schwenkbewegung des Zahnsegments, wird hierbei durch wechselseitiges Eingreifen der Klauen realisiert. Die Klauen werden mit elektostatischen Kammelektroden angetrieben.
| Technische Daten: |  Prinzipskizze |
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| Auslenkung: Schrittweite: Schrittfrequenz: |
±7,5° 5 µm = 0,015° 1500 Hz |
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