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Professur Mikrotechnologie
Advanced Integrated Circuit Technologies
Professur Mikrotechnologie 

Advanced Integrated Circuit Technologies

Prof. Dr. S. E. Schulz

Umfang & Abschluss

Die Lehrveranstaltungen des Moduls werden in englischer Sprache gehalten.
Lehrformen des Moduls sind Vorlesung und Übung mit einem Umfang von 3 LVS bzw. 1 LVS (§ 4 Studienordnung):

  • V: Advanced Integrated Circuit Technologies (3 LVS)
  • Ü: Advanced Integrated Circuit Technologies (1 LVS)

Das Modul schließt mit einer Prüfungsleistung in Form einer englischsprachigen Klausur (Zeitdauer 120 Minuten) ab.
In diesem Modul werden 5 Leistungspunkte erworben. Die erfolgreiche Ablegung der Modulprüfung ist Voraussetzung für die Vergabe dieser Leistungspunkte. Die Bewertung der Prüfungsleistung und die Bildung der Modulnote sind in § 10 der Prüfungsordnung geregelt.
Das Modul wird in jedem Studienjahr angeboten und erstreckt sich bei regulärem Studienverlauf auf ein Semester.

Qualifikationsziele & Inhalte

Ziel dieses Moduls ist das Verständnis der Grundlagen und Trends der modernen Technologie integrierter Schaltkreise, Kentnisse der Prozess-Schritte und -Module; Kentnisse der physikalischen Modelle für Halbleiterprozesse, Methodik und Werkzeuge für die Prozess- und Equipmentsimulation, praktische Programmierung.

Inhalte:

  • Anforderungen und Trends Semiconductor Technology Roadmap
  • Prozesse der Mikro- und Nanoelektronics (Schichtabscheidung, Ionenimplantation, fortgeschrittene Lithographie, Ätzen/Strukturierung, Chemisch Mechanisches Polieren, fortschrittliche Reinigungsverfahren) einschl. neuer Prozess-Schritte
  • CMOS- / Bipolar- / BiCMOS-Technologie
  • CMOS Prozessmodule für moderne IC-Technologien (STI, Gate, Source/Drain, Interconnect Module, Packaging etc. )
  • Spezifische Aspects der sub 100 nm CMOS-Technologie
  • Neue Transistor- und Speicherkonzepte; potentielle Post-CMOS-Technologien
  • 3D-Technologie zur Erhöhung der Integrationsdichte
  • Numerische Methoden für die Halbleiterprozess- und Equipment-Simulation
  • Modelle und Programmierung für fortschrittliche Abscheideverfahren (Monte Carlo und molekulardynamische Berechnungen)
  • Parameteroptimierungsmethoden / Angewandte Programmierung in Java

Skripte und andere Lehrmaterialien

Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studierende der Vorlesung "Advanced Integrated Circuit Technologies" verfügbar.