Mikrotechnologien

Prof. Dr. T. Geßner, Prof. Dr. K. Hiller, Dr. A. Bertz

Inhalte

1. 1 Überblick zur Mikrosystemtechnik & Trends
2. 1. 1.1 Definitionen zu MIkrosystemen / Komponenten / Sensoren / Aktoren
   2. 1.2 Übersicht zu Mikrotechnologien
   3. 1.3 Wirkprinzip
   4. 1.4 Materialien
3. 2 Fertigungstechnologien der Mikrosystemtechnik
4. 1. 2.1 Elektronik / Mikroelektronik / Si-Mikromechanik
   2. 2.2 Reinraum / Umfeld
   3. 2.3 Spezielle Verfahren der Mikroelektronik / Si-Mikromechanik
   4. 1. 2.3.1 Diffusion
      2. 2.3.2 Lithografie / Maskenherstellung / LIGA
      3. 2.3.3 PVD
      4. 2.3.4 CVD
      5. 2.3.5 Oxidation
      6. 2.3.6 Ionenimplantation
      7. 2.3.7 Galvanik
      8. 2.3.8 Strukturübertragung / Ätzen
      9. 2.3.9 Waferbonden
      10. 2.3.10 Packaging / Aufbau- und Verbindungstechnik AVT / bumps
      11. 2.3.11 Weitere Technologien
      12. 2.3.12 Messtechnik
5. 3 Technologiebeispiele für spezielle Anwendungen
6. 1. 3.1 Mikromechanische Drucksensoren
   2. 3.2 Mikromechanische Beschleunigungssensoren
   3. 3.3 Gyroskope
   4. 3.4 Strahlungssensoren
   5. 3.5 Temperatur-Sensoren
   6. 3.6 Mikromechanische Aktoren
   7. 1. 3.6.1 Spiegel
      2. 3.6.2 Tintenstrahldruckkopf
      3. 3.6.3 RF-MEMS
      4. 3.6.4 Schalter
   8. 3.7 Spezielle Beispiele
   9. 1. 3.7.1 Magnetfeldsensoren
      2. 3.7.2 Chemische Sensoren
      3. 3.7.3 Flusssensoren
7. 4 Mikrosysteme / Hybride / Monolithische Integration

Empfohlene Literatur

• S. Büttgenbach: Mikromechanik, Teubner Studienbücher Stuttgart (1991 und 1994)
• A. Heuberger: Mikromechanik, Springer Verlag (1991)
• P. Hauptmann: Si-Sensoren, Hauser-Verlag (1990)
• G. Schumicki, P. Seegebrecht: Mikroelektronik-Prozeßtechnologie, Springer-Verlag (1991)
• G. Gerlach, W. Dötzel, Abschnitt 3: T. Geßner: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, C. Hanser Verlag (1997)
• M. Kasper: Mikrosystementwurf, Springer-Verlag (2000)
• G. T. A. Kovacs: Micromachined Transducers, WCB, Mc Grow-Hill (1998)
• G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - ein Kursbuch für Studierende, Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag (2006)
• U. Mescheder: Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Teubner Verlag (2004)

Skripte

Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studenten bzw. Mitarbeiter der Technischen Universität Chemnitz zugänglich.

• Inhalt  (49 KB)
• Definitionen, Einführung, Wirkprinzipien  (2.6 MB)
• Fertigungsumfeld  (2.1 MB)
• Material Silizium  (479 KB)
• Reinigung  (374 KB)
• PVD  (1.8 MB)
• CVD  (2.4 MB)
• Oxidation  (1.3 MB)
• Diffusion  (688 KB)
• Implantation  (543 KB)
• Lithografie  (2.6 MB)
• Ätzen  (1.4 MB)
• Waferbonden  (2.2 MB)
• Montage  (2.9 MB)
• Messtechnik  (1.2 MB)
• Temperatursensoren  (201 KB)
• Strahlungssensoren, Fotovoltaik  (3.1 MB)
• Drucksensoren  (289 KB)
• Mikrospiegel  (4.8 MB)
• Mikrosysteme Ausblick  (2.5 MB)