Forschung - Einführung
Die Zuverlässigkeit als wissenschaftliche Disziplin beschäftigt sich mit der Analyse, Bewertung und Vorhersage der Lebensdauer von mikrotechnischen Systemen (z. B. der Aufbau-und Verbindungstechnik in der Mikroelektronik, MEMS, etc.).
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Die Hauptherausforderungen sind dabei die Handhabung der Komplexität mikrotechnischer Systeme (System-Zuverlässigkeit), die Korrelation der Degradation zur Nanostruktur der Werkstoffe (Nano-Zuverlässigkeit) und die Generierung von Lebensdauermodellen zur Korrelation zwischen Labor- und Feldbelastung (Definition von beschleunigten und kombinierten Tests).
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Eine Zuverlässigkeitsprognose steht und fällt mit der Gültigkeit und Genauigkeit des Lebensdauermodells für den jeweiligen Fehlermechanismus. Die Forschung umfaßt daher die Entwicklung von Lebensdauermodellen für mikrotechnische Systeme von der Werkstoff- bis zur Systemebene. Grundlage hierfür ist das physikalische Verständnis von Werkstoffen in Bezug auf ihre Eigenschaften und Fehlermechanismen als Funktion des strukturellen Aufbaus und externer Randbedingungen ('Physics-of-Failure').