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Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Projekte
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme 

Forschungsprojekte


Aktuelle Projekte

Förderer Titel / Thema Professur Zeitraum
BMBF

UP4Foundry (ForMikro 2.0)

Universelle Technologieplattform für eine foundryfähige heterogene Systemintegration, Herstellung und Stresstest ultradünner Substrate.

2024–2028
SAB

Supra3D

Integration von supraleitenden Werkstoffen in 3D Package-Architekturen für Ionenfallen-Quantencomputer.

2024–2027
BMWK

Smartman

Industrie 4.0, Digitalisierung der Produktion von Automotive-Baugruppen und deren Nullstunden-Qualität, Zuverlässigkeit und Robustheit.

2024–2026
EU MSCA DN

Mirelai - MIcroelectronics RELiability driven by Artificial Intelligence
(Industrie-Doktoranden-Netzwerk)

AI-coupled inline quality testing of power-modules by IR thermography.

2023–2026
BMBF

CeCaS

Neue Automotive qualifizierte Hochleistungsprozessoren und künftige Central Car Server mit Cloud-Anbindung inklusive Systemintegration.

TU Chemnitz: Thermo-mechanische Charakterisierung und Test.

2023–2025
EU

Nanomat

Heterogene Material- und Technolgieplattform für einen neuen Bereich der Leistungs-Nanoelektronik. Radarmodul mit Phased-Array-Antenna auf Basis von System-in-Flex.

2023–2025
EU Penta Xecs

e2Lead

Elektroniksystem mit besonders hoher Zuverlässigkeit für das autonome Fahren, thermisches Management für Automotive HPC.

2023–2025
BMWK

InThElekt

Integrale Thermoplast-Sandwich-Struktur Bauteile mit adaptierten Elektroniken für E-Fahrzeuge

TU Chemnitz: Charakterisierung von Bimaterial-Grenzflü

2023–2025
BMBF

Copperfield

Technologieentwicklung und Zuverlässigkeit von gesinterten Kupferkontakten für leistungselektronische und mikroelektronische Anwendungen.

2023–2025

Abgeschlossene Projekte

Förderer Titel / Thema Professur / Leitungsfunktion Zeitraum
EU/BMBF

iREL 4.0 (ECSEL Innovation Actions Calls 2019)

Zuverlässigkeit für heterogene Systemintegration für Industrie 4.0 Zuverlässigkeits- und Qualitätsoffensive der europäischen Industrie bzgl. Packaging.

TU Chemnitz: Kooperation mit Infineon und AMS bzgl. Lebensdauermodellierung, Fehleranalytik und beschleunigter Tests.
Fokus: Gesinterte Silber- und Kupferverbindungen, Verkapselungen, Fehleranalytik

2020–2023
BMBF

KI-LiDAR

Digitaler Zwilling und neuronale Netzwerke zur Rekalibrierung von Automotive Flash-LiDAR, feldgekoppelte Simulation und Validierung.

2019–2022
ESF

Landesinnovationspromotion

Transiente IR-optische & KI-basierte Verfahren für die Inline-Fehleranalytik und Qualitätskontrolle von Mikroelektronischen Packages bei der Fertigung.

2019–2022
EU/BMBF

HiPER (PENTA Call 3: Transport and Smart Mobility)

Thermisches Management und Zuverlässigkeit von GPU-Power-SiP für Automotive-HPC für autonomes Fahren, Flüssigkeitskühlungs-Teststand, Design, Aufbau, Test und Simulation Power-SiP, Power-Management GPU-Mock-up Ansteuerung und Test

2019–2022
SAB

Transferzentrum "MoHeSys"

Modulare Integration für dünne & heterogene Sensorsysteme, Charakterisierung der heterogenen Dünnschicht- und Mehrlagensysteme und Zuverlässigkeitsbewertung, Struktur-Eigenschaftskorrelation dünner Schichten.

2019–2020
ESF

Inlinetest (ICT-31-2017-IA)

Thermographische Verfahren für die inline Prozessüberwachung in der Fertigung von Leistungselektronik: Fokus MMIC (GaN-HPA), Discretes

2018–2021
ESF

Nachwuchsforschergruppe "e-Pisa"

Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0; Desing, Aufbau und Test AlN-basierter Cantilever als Ermüdungsplattform für dünne Sensorschichten unter Vibrationsbelastung, Funktionalität

2017–2020
ESF/SAB

Landesinnovationspromotion

Thermo-mechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeit flexibler Sensorsysteme, Struktur-Eigenschafts-Korrelation bei der Ermüdung bzw. Zerrüttung dünner Al und Cu PVD-Schichten durch beschleunigte Stresstests

2016–2019
SAB

Leistungszentrum "Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik"

Thermo-mechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeit von 3D WL-SiP Strukturen

Partner und Koordinator TU Chemnitz

2016–2018
BMBF

Nanoproxi (KMU-innovativ: Nanotechnologie NanoChance): "Entwicklung eines thermischen Delaminationsdetektions-Verfahrens"

Entwicklung einer thermischen Pixel-Kamera zur in-situ Detektion von Delamination

2015–2018
DFG

DFG-Forschergruppe FOR1713, Sensorische Mikro- und Nanosysteme (SMINT, Teil II).Teilprojekt: "Ermüdungstest-plattform zur Zuverlässigkeitsbewertung von Nanokomponenten"

Charakterisierung von Werkstoffen auf der Mikro- und Nanoskala mittels MEMS-Belastungsvorrichtungen.

Teilprojektleiter

2014–2017
EU

CarrICool (FP7-ICT-2013-11-small): "Modular Interposer architecture providing scalable heat removal, power delivery, and communication"

Thermo-mechanical characterisation of 3D architectures in Si-interposer, e.g. TSVs and CuSn-based joining-technologies (soldering, TLPB)

Workpackage Leader

2014–2017
VW-Stiftung

Piezoresistive carbon nanotubes for condition monitoring and reliability consideration (Part II)

Degradation of SWCNT-metal interfaces in simulation and experiment (in situ TEM actuation & DIC analysis).

Teilprojektleiter

2014–2016
EU

NanoTherm (FP7-ICT-2011.3.1-large): "Innovative Nano and Micro Technologies for Advanced Thermo and Mechanical Interfaces"

Characterisation, modelling and failure analysis of porous sintered silver and Epoxy-Ag-Composites as die attach for power applications

Workpackage Leader

2012–2016
EU

SmartPower (FP7-ICT-2011-7-large): "Smart integration of GaN & SiC high power electronics for industrial and RF applications"

1: System approach to double-sided cooling of power converter using TEC and transient thermal buffering.

2: RF-Power-SiP under thermo-mechanical loading, characterisation and lifetime evaluation.

Workpackage Leader

2011–2016
EU

HyperConnect (FP7-NMP-2012-SMALL-6): "Functional joining of dissimilar materials using directed self-assembly of nanoparticles by capillary-bridging"

Self-assembly and interdiffusion using nano-materials, deformation and failure mechanisms of sintered joints und thermos-mechanical loading

Workpackage Leader

2013–2015
DFG

DFG-Forschergruppe FOR1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme (SMINT, Teil I).

Entwicklung und Charakterisierung einer MEMS-Belastungsvorrichtung

Teilprojektleiter

2011–2014
VW-Stiftung

Integration of dielectrophoretic deposited Carbon Nanotubes and their reliability in mechanical sensor systems (Part I)

Structure-property correlation for SWCNTs during pullout testing from a metal matrix for smart systems application.

Teilprojektleiter

2011–2014
EU

eBRAINS (FP7-ICT-2009-5-large): "Best-Reliable Ambient Intelligent Nano Sensor Systems"

Characterisation of TSVs and CuSn Joints for 3D-SiP technologies. High cycle fatigue of thin Al BEOL layers under isothermal vibration loading

2010–2014
BMBF

Nanett (Phase II): "Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Materialintegrierte Sensorik basierend auf Nanoeffekten"

Materialcharakterisierung, Simulation und Test eines Polymer-verkapselten piezo-resistiven Bewegungssensors aus PVDF.

Partner

2012–2014
BMBF

Nanett (Phase I): "Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Materialintegrierte Sensorik basierend auf Nanoeffekten"

Simulation und Charakterisierung des Aufrollverhaltens von nanoskaligen TiCr Smart Tubes während der Prozessierung.

Partner

2009–2012