Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Dr.-Ing. Klaus Erler

Technische Universität Chemnitz (Werkvertrag)

Arbeitsgebiete

  • Charakterisierung von integrierten Hochvolt-Isolationsstrukturen
  • Integrierte Drucksensoren
  • Wirkungsgradoptimierung von Solarzellen

Kontakt

Telefon:+49 371 531-29831
Fax:+49 371 531-24449 (Sekretariat) / +49 371 531-829831 (persönlich)
E-Mail:
Sitz:Reichenhainer Str. 70 (Weinhold-Bau), Zimmer 321 (neu: C25.321)
Postanschrift: Dr.-Ing. K. Erler
Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
D-09107 Chemnitz

Veröffentlichungen

  • Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Neubert, M. (EDC GmbH); Seidel, R. (EDC GmbH); Pohle, A. (EDC GmbH); Gross, Ch. (TURCK duotec GmbH); Gabriel, P. D. (TURCK duotec GmbH), Rönisch, A. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350nm technology for filter monitoring applications, AMA Conferences SENSOR 2013, 16th International Conference on Sensors and Measurement Technology, 14 - 16 May 2013, Nürnberg, pp. 368 - 372, ISBN 978-3-9813484-4-6, doi:10.5162/sensor2013/C2.3
  • Neubert, M. (EDC GmbH); Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Seidel, R.; Pohle, A. (EDC GmbH); Groß, Ch.; Rönisch, A.; Gabriel, P.D. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications (PDF, 2,5 MB), 14th Leibnitz Conference of advanced Science, Sensorsysteme 2012, Lichtenwalde, 18./19.10.2012
  • Neubert, M. (EDC GmbH); Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Seidel, R.; Pohle, A. (EDC GmbH); Groß, Ch.; Rönisch, A.; Gabriel, P.D. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications, 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 23./24.10.2012, ISBN 978-3-00-039162-0
  • Heinz, S.; Erler, K.; Walter, T.; Seidel, R.; Horstmann, J. T.; Neubert, M. (EDC GmbH); Pohle, A. (EDC GmbH); Gross, Ch. (TURCK duotec GmbH); Gabriel, P. D. (TURCK duotec GmbH): Combining CMOS and MEMS technologies in a monolithic system for observing filter pollutions, Proceedings of the 37th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society, Melbourne, Australia, November 7-10, ISBN 978-1-61284-971-3, ISSN 1553-572X, doi:10.1109/IECON.2011.6119973
  • Fritzsch, M.; Schramm, M.; Erler, K.; Heinz, S.; Horstmann, J. T.; Eckoldt, U.; Kittler, G.; Lerner, R.; Schottmann, K.: Optimization of Trench Manufacturing for a new High-Voltage Semiconductor Technology, IEEE International Symposium on Industrial Electronics (ISIE-2010), Bari, Italy, July 4-7, 2010, ISBN 978-1-4244-6391-6, doi:10.1109/ISIE.2010.5637007
  • Kittler, G.; Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Fritzsch, M.; Schramm, M.; Erler, K.; Heinz, S.; Horstmann, J. T.: Single Trench Isolation for a 650 V SOI Technology with Low Mechanical Stress, 2010 IEEE International SOI Conference, 11-14 October 2010, San Diego, California, ISBN 978-1-4244-9130-8, doi:10.1109/SOI.2010.5641368
  • Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Heinz, S.; Erler, K.; Lange, A.; Ebest, G.: Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation, 20th International Symposium on Power Semiconductors Devices and ICs, May 2008, ISPSD '08, Orlando, ISBN 978-1-4244-1532-8, doi:10.1109/ISPSD.2008.4538934
  • Lange, A.; Heinz, S.; Erler, K.; Ebest, G.; Lerner, R.; Eckholdt, U.; Schottmann, K.: Modeling the Leakage Current of Dielectric Isolation Structures in a High-Voltage Semiconductor Technology (PDF, 670 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374811
  • Heinz, S.; Lange, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Miesch, W.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Pfau, W.: High-Voltage Amplifier for MEMS based Switching Arrays in Wavelength-Division Multiplexing Networks (PDF, 953 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374809
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Experimental Investigations Towards Implementation of RIE and RTP Into the Multicrystalline Solar Cell Process, 21st PVSEC Dresden, 4.-8. Sep. 2006, Publication: 2CV.3.12, ISBN 3-936 338-20-5, pp. 815-817
  • Ebest, G.; Mrwa, A.; Erler, K.; Rindelhardt, U.: Light trapping and optical losses in solar cells with RIE textured surfaces, 20th PVSEC Barcelona, June 6-10, 2005, pp. 1213-1215, ISBN 3-936338-19-1
  • Diefenbach, K. H.; Erler, K.; Mrwa, A.; Denissov, S.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Emitter Formation at RIE Textured Surfaces, 19th PVSEC Paris, France, June 7-11, 2004, pp. 899-902, ISBN 3-936-338-14-0 / 88-89407-02-6
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Denissov, S.; Ebest, G.: Ortsaufgelöste Messung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PVD (PDF, 416kB), Freiberger Siliziumtage 19.-21.6.2003, Freiberger Forschungshefte B 327, S 91-107, ISBN 3-86012-218-5
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; Hezel, R.: RT Annealed Spin-on Glass Process for Screen Printed Multicrystalline Silicon Solar Cells (PDF, 94kB), World Renewable Energy Congress VII, Poster, Cologne 2002
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.: Rapid and classic thermal processing of block cast multicrystalline and edge defined film-fed growth EFG silicon (PDF, 397kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.8, 07-11 october 2002, Rome
  • Erler, K.; Mrwa, A.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.; Werner, T.; Schwarz, T.: Application of cost effective solar cell processing steps on RIE textured silicon surfaces (PDF, 544kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.9, 07-11 october 2002, Rome
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Siliziumsolarzellen, Workshop "Verfahren und Materialien für die Photovoltaik", 29./30. März 2001, Rudisleben/Germany
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Henker, M.; Ebest, G.: Preparation of RIE textured silicon surfaces and application to typical solar cells processing (PDF, 5MB), 17th European PVSEC, VC 1.10, Munich, 22-26 October 2001
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; A. Metz, Hezel, R.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for screen printed multicrystalline silicon solar cells (PDF, 1MB), 17th European PVSEC, VC 1.09, Munich, 22-26 October 2001
  • Ebest, G.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Abschlussbericht zumBMWi-Forschungsprojekt, FKZ 0329803
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Silizium-Solarzellen auf der Basis von spin-on und RTP (PDF, 208kB), Vortrag, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Ebest, G.: Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und einkristallinem Silizium-Material durch RIE (PDF, 9MB), Poster, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for multicrystalline pn-silicon solar cells (PDF, 312kB), Poster VA 1/4, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Ball, M.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ebest, G.: Automatic Methods for Treatment of the Dark Current Characteristics of Solar Cells (PDF, 953kB), Poster Presentation, Subject Number 2, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.; Heinz, S.; Zichner, N.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Zwischenbericht 1998, April 1999
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, S.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, Erteilung, Nr. 195 41 616
  • Schlegel, C.; Zeitlmann, R.; Erler, K.; Symanzik, H.-G.: Ein universelles temperaturstabiles Drucksensor-Mikrosystem, 3. Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, Oktober 1997
  • Heinz, S.; Melzer, F.; Günther, T.; Erler, K.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Zwischenbericht zum Verbundprojekt, Juli 1996
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Hahn, R.; Ebest, G.; C. Kaufmann, Geßner, T.: Mikromechanische Bauelemente und Strukturen und Verfahren zu deren Herstellung, P 196 43 318, Herstellung 10/96
  • Heinz, S.; Erler, K.; Günther, T.; Melzer, F.; Ebest, G.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Abschlußbericht zum SMWK-Verbundprojekt, Dezember 1996
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Rößler, F.: Sensor- und Schaltungsentwicklung für den Hochtemperaturbereich, Schlußbericht des BMBF-Verbundprojektes HITEMP, April 1996
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, St.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, P 195 41 616.3
  • Erler, K.; Kretschmar, H.; Schlegel, C.; Melzer, F.; Loebel, K.-U.; Rößler, F.; Schubert, S.: Sensor und Schaltungsentwicklung, Statusbericht zum BMBF-Verbundprojekt HITEMP, Januar 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.; Rößler, F.: Komponenten eines Si-Mikrosystems zur Druckmessung für den Einsatz bis 200°C, Abschlußseminar und Präsentation zum Verbundprojekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Duisburg, 23.-24.11. 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.: Statusbericht zum Projekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Vortrag zum Statusseminar, Ulm, Mai 1995
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kretschmar, H.; Schubert, S.: Mikromechanische Drucksensoren bis 200°C, Design&Elektronik, Sonderheft Sensortechnik, Mai 1995, 49

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