Dienstleistungen
Verbundwerkstoffe
Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
- DC-Magnetronsputtern, gepulstes DC-Magnetronsputtern, reakives DC-Magnetronsputtern
- Mono- und Multilagenschichten (zwei Sputterquellen)
- Metallische Schichten (Ni, Al, Ti, Cu, Cr, Si, Y, Zn, Sn, NiTi, NiCr, NiFe, NiC, …
- Keramische Schichten (Oxide, Nitride, Al2O3, Y2O3, TiN, )
- Ebene Substrate (Metalle, Gläser, Keramik, Kunststoffe)
- Beschichtung von Draht und Fasern durch Rotationsvorrichtung
- Substratheizung bis 650 °C
- Abscheidung von Sensor-, Isolations- und Kontaktschichten
Weiterführende Informationen
Ansprechpartner
Dr.-Ing. Maik Trautmann
- Telefon:+49 371 531-38846
- Fax:+49 371 531-838846
- Raum:3, 3/A104
- E-Mail:
