Technische Ausstattung
Verbundwerkstoffe
4-Punkt-Widerstandsmessung mit Flachheizer
Gerät: Jandel RM 5000 mit keramischen Flachheizer
Spezifikationen:
- Flächenwiderstandsbereich: 1 mΩ/□ (10-3) bis zu 5 x 108 mΩ/□ mit 0,3 % Genauigkeit
- konstante Messstromstärke zwischen 10 nA und 99,999 mA,
- konstante Messspannungen von 0,01 mV bis 1250 mV
- Bei Volumen (bulk) Widerstandsmessung beträgt der angegebene Bereich 1 mΩcm bis zu 1*106 Ωcm
- Eingangsimpedanz 1.000.000.000.000 Ohm
- Eingang Bias Strom 4 pA
- DVM 1300 mV und 130 mV Reichweite
- Maximaler Anpressdruck 0,3 N
- Spitzenabstand 1mm, Rµ = 500 µm
Anwendungen:
- Zerstörungsfreie und invasionsfreie Bestimmung:
- des Flächenwiderstandes von planaren Feststoffen
- Ermittlung des spezifischen Widerstandes bei bestimmten oder bekannten Schichtdicken
- Bestimmung des Temperaturkoeffizienten bei Temperaturen zwischen 35–500 °C
- Standardmessmethode zur Ermittlung der elektrischen Leitfähigkeit in Halbleitertechnik, Photovoltaik etc.
Temperatur Schichtwiderstands-Messung div. Ni-C Schichten sowie ermittelte TCR-Werte
Ansprechpartner
Dr.-Ing. Maik Trautmann
- Telefon:+49 371 531-38846
- Fax:+49 371 531-838846
- Raum:3, 3/A104
- E-Mail:
