Erfolgreicher Workshop zu atomar präziser Oberflächentechnologie in Chemnitz

Wissenschaftlicher Nachwuchs profitiert vom Austausch innerhalb des Innovations-Netzwerks für Atomlagenprozessierung ALPIN

Am 11. und 12. September 2023 fand an der Technischen Universität Chemnitz der dritte Workshop des Innovations-Netzwerks für Atomlagenprozessierung (Atomic Layer Process Innovation Network - ALPIN) statt. Mehr als 80 Expertinnen und Experten aus ganz Deutschland waren vor Ort – ein neuer Rekord für ALPIN! Zentrale Idee der ALPIN-Workshops ist es, neben den teils sehr teuren Tagungen und Workshops der internationalen Fachverbände, ein niederschwelliges Angebot für den wissenschaftlichen Nachwuchs zu etablieren. Präsentation aktueller Forschung und die Vernetzung mit etablierten Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern sowie Industrievertreterinnen und -vertreter stehen dabei im Mittelpunkt. Um das zu ermöglichen, gelang es auch in diesem Jahr wieder, alle anfallenden Kosten durch Unterstützung der Universität und Sponsoring von Fachfirmen zu decken, so dass keine Teilnahmegebühren anfielen.

Bei der Atomlagenprozessierung handelt es sich um eine Hochtechnologie, die es erlaubt, nur wenige Atomlagen dünne funktionale Schichten aufzutragen oder auch kontrolliert zu entfernen. Sowohl in der Halbleitertechnologie, als auch beispielsweise in der Photonik bis hin zur Versiegelung von Oberflächen, wird die Atomlagenprozessierung angewendet.  Entsprechend breit war auch dieses Mal die Vielfalt an Fachbeiträgen als Poster oder Vortrag, mit denen neue Materialien, Prozesse und Anwendungen der Atomlagenprozessierung im Workshop vorgestellt wurden.

Deutschland und insbesondere Sachsen gehört global gesehen zu den wichtigsten Forschungsstandorten der Atomlagenprozessierung.  Entsprechend kamen viele Teilnehmerinnen und Teilnehmer aus sächsischen Forschungseinrichtungen. Die Gastgeber von der TU Chemnitz und dem Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS waren mit vier Arbeitsgruppen präsent. So zeigte das Simulationsteam des Zentrums für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (Linda Jäckel, Dr. Xiao Hu, Dr. Jörg Schuster) aktuelle Arbeiten zur Modellierung des Atom-genauen Ätzens von Materialien der Halbleitertechnologie. Mit quantenchemischen Simulationen auf Hochleistungsrechnern werden dafür viele mögliche Materialien untersucht und vielversprechende Kandidaten für experimentelle Tests identifiziert. Das Technologie-Team des ENAS (Dr. Lysann Kaßner und Mathias Franz) präsentierte aktuelle Ergebnisse zur Atomlagenabscheidung von metallischem Kobalt. Zwei Arbeitsgruppen aus dem Institut für Chemie der TU Chemnitz waren mit Forschungsarbeiten zur Beschichtung von Kohlefasern mit Titanphosphat (Martin Klapper und Prof. Dr. Werner Goedel, Physikalische Chemie) sowie der Synthese von neuartigen Präkursoren als Ausgangsstoffe für die Atomlagenprozessierung (Prof. Dr. Robert Kretschmer, Anorganische Chemie) bei der ALPIN vor Ort.

Links zu aktuellen Publikationen der Chemnitzer Forscherinnen und Forscher in Fachzeitschriften:

Xiao Hu, Jörg Schuster, Chemical Mechanism of AlF3 Etching during AlMe3 Exposure: A Thermodynamic and DFT Study, J. Phys. Chem. C 2022, 126, 17, 7410–7420

Oleksandr Kysliak, Simon H. F. Schreiner, Niklas Grabicki, Phil Liebing, Florian Weigend, Oliver Dumele, Robert Kretschmer, A Planar Five-Membered Aromatic Ring Stabilized by Only Two π-Electrons, Angew. Chem Int. Ed. 2022

Pauline Dill, Xiang Ren, Helen Hintersatz, Mathias Franz, Doreen Dentel, Christoph Tegenkamp, Susann Ebert,  Atomic Layer Deposition of Titanium Phosphate onto Reinforcing Fibers Using Titanium Tetrachloride, Water, and Tris(Trimethylsilyl) Phosphate as Precursors. Journal of Vacuum Science & Technology A 2022, 40 (2), 022403.

(Autor: Dr. Jörg Schuster)

Mario Steinebach
12.09.2023

Alle „TUCaktuell“-Meldungen
Hinweis: Die TU Chemnitz ist in vielen Medien präsent. Einen Eindruck, wie diese über die Universität berichten, gibt der Medienspiegel.