Die "Szene" hat sich in Chemnitz getroffen
9. Chemnitz Fachtagung "Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik" bot 21 Vorträge sowie eine Poster- und Firmenausstellung
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Von links: Prof. Dr. Göran Herrmann (Professur für Schaltkreis- und Systementwurf), Dr. Andre Kretschmann (Robert Bosch GmbH), Dr. Mathew Varghese (MEMSIC Inc.) und Prof. Dr. Jan Mehner (Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik) Foto: privat |
Im November 2009 fand die 9. Chemnitzer Fachtagung "Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik" statt. Ausrichter waren neben der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz wieder die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM), der Verein Angewandte Mikroelektronik Chemnitz e. V. (AMEC) und der Förderverein für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik Chemnitz e. V. Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) sowie die Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme (ENAS) waren als Kompetenzzentren bei der Organisation der Tagung beteiligt.
Mikrosysteme vereinen kleine elektronische und mechanische Funktionselemente auf einem Chip. "Die Kombination elektronischer Schaltkreise mit beweglichen mikromechanischen Komponenten ermöglichte die Entwicklung von intelligenten Sensoren, wie sie heute zur Airbagsteuerung und Fahrdynamikregelung in Autos genutzt werden. Diese Mikrosysteme können gegenwärtig so kostengünstig gefertigt werden, dass sie nicht nur in sicherheitsrelevanten Bereichen, sondern zunehmend auch in Konsumgütern zu finden sind", berichtet Prof. Dr. Jan Mehner, Inhaber der Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik, der die Veranstaltung gemeinsam mit Prof. Dr. Göran Herrmann von der Professur Schaltkreis- und Systementwurf organisierte. "Zahlreiche elektronische Geräte, beispielsweise Handys oder interaktive Spielkonsolen, nutzen diese Bewegungssensoren zur Steuerung. In Fotoapparaten und Kameras werden sie zur Bildstabilisation eingesetzt. Gegenwärtig werden mikrooptische Komponenten entwickelt, mit denen die Bilder direkt vom Handy oder einem Fotoapparat an eine Wand projiziert werden können. Mikrosysteme sind faszinierend und innovativ. Chemnitzer Studenten und Wissenschaftler sind in gemeinsamen Forschungsprojekten mit Firmen an diesen Entwicklungen beteiligt", ergänzt Herrmann und fügt hinzu: "Das Interesse an einem fachübergreifenden Wissensaustausch mit Kollegen ist unverändert groß. Deshalb sollte diese Tagung den Spezialisten von Mikromechanik und Mikroelektronik wieder Gelegenheit geben, sowohl den wissenschaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu können."
Die Tagung wurde vom Rektor der TU Chemnitz, Prof. Dr. Klaus-Jürgen Matthes, eröffnet. In seinem Grußwort würdigte er die erfolgreiche Entwicklung der Mikrosystemtechnik an der Chemnitzer Universität. "Auf diesem Gebiet wurden bereits Studenten ausgebildet, als diese Technologien noch in den Kinderschuhen steckten. Seit 1987 gibt es die Studienrichtung Mikrosystemtechnik an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Verschiedene Studien zeigten, dass Chemnitz einen großen Teil an Mikrosystemtechnik-Absolventen ausgebildet hat. Auch in den neuen Bachelor- und Masterstudiengängen ist die Mikrosystemtechnik gebührend vertreten. So gibt es neben dem Masterstudiengang "Mikrosysteme und Mikroelektronik" auch einen internationalen Studiengang Micro- and Nanosystems in englischer Sprache", betonte Matthes. Zu den Höhepunkten der Chemnitzer Forschung in diesem Gebiet zählte in den vergangenen Jahren ein von der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) geförderter Sonderforschungsbereich zum Thema "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Über die maximal mögliche Förderdauer von zwölf Jahren wurden die wissenschaftlichen Grundlagen entwickelt, die heute gemeinsam mit der Industrie in Produkte überführt werden. Ein weiterer Meilenstein war die Eröffnung des "Smart Systems Campus" im Sommer dieses Jahres. Dazu gehören das neue Institutsgebäude für Physik, die Fraunhofer-Einrichtung ENAS, ein Start-up-Gebäude für Ausgründungen und ein angrenzender Gewerbepark.
Für Vorträge waren zwei Wissenschaftler aus Firmen eingeladen, mit denen die TU Chemnitz langjährige Forschungskooperationen unterhält. Dr. Andre Kretschmann von der Robert Bosch GmbH Reutlingen berichtete über den Einsatz von innovativen und intelligenten Mikrosensoren in der Automobiltechnik. Die Robert Bosch GmbH zählt zu den erfolgreichsten Produzenten für Mikrosysteme und erhielt 2008 für ihre Produkte den Zukunftspreis des Bundespräsidenten Horst Köhler. Kretschmann unterstützt seit Jahren die studentische Ausbildung durch gemeinsame Forschungsprojekte und durch die Betreuung der jungen Wissenschaftler bei praktischen Tätigkeiten an den verschiedenen Standorten der Firma Bosch. Regelmäßig werden ein Boschstipendium und ein Boschpreis an herausragende Studenten der Mikrosystemtechnik verliehen. Anschließend stellte Dr. Mathew Varghese die neuesten Entwicklungen auf dem Gebiet der Sensorik in den USA vor. Dr. Varghese promovierte 2002 am renommierten Massachusetts Institute of Technology (MIT) in Boston und ist heute verantwortlich für die Entwicklung von mikromechanischen Sensoren der MEMSIC Inc. in Andover.
Während der zweitägigen Veranstaltung wurden 21 Vorträge präsentiert, begleitet von einer Poster- und Firmenausstellung. Bei dieser Veranstaltung hatten insbesondere junge Doktoranden die Gelegenheit, über ihre Forschungsprojekte zu berichten und zu diskutieren. Die Anwendungen reichten von einem neuen hochauflösenden Drucksensorkatheder für die Medizin über Sensoren zur Zustandsüberwachung in Faserkunststoffverbunden bis hin zu Möglichkeiten der Energiegewinnung für autonome Sensoren. Zum Abschluss des ersten Tages bildete ein dritter eingeladener Vortrag einen weiteren Höhepunkt der Tagung. Bernd Wacker von der Siemens AG Erlangen sprach über die Aktivitäten von Siemens bei der Gewinnung, dem Transport und der Verarbeitung von Erdöl und Erdgas und bereicherte damit das doch eher auf die kleinen Dimensionen der Mikrosystemtechnik ausgerichtete Fachwissen der Teilnehmer um makroskopische Fakten. Der Abend klang mit einem von der GMM unterstützten Empfang aus, bei dem etwa 50 Tagungsteilnehmer die Möglichkeiten zum angeregten Gespräch nutzten.
Insgesamt leistete die 9. Chemnitzer Fachtagung einen Beitrag zur Kommunikation zwischen Mikroelektronikern und Mikromechanikern. Die "Szene" hat sich wieder in Chemnitz getroffen, das Hotel Mercure Kongress bot erneut ein gutes Ambiente. Es konnte einmal mehr dokumentiert werden, dass Chemnitz mit seiner langen Tradition auf beiden Wissens- und Arbeitsgebieten ein geeigneter Ort für eine solche Tagung ist.
(Autoren: Prof. Dr. Göran Herrmann und Prof. Dr. Jan Mehner)
Katharina Thehos
24.11.2009
