Als Gastwissenschaftler in Shanghai
Lutz Hofmann berichtet von seinem dreimonatigen Aufenthalt in China im Rahmen des Internationalen Graduiertenkollegs "Materials and Concepts for Advanced Interconnects and Nanosystems"
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Lutz Hofmann forschte und lebte von Januar bis März 2012 in China. Foto: privat
Ein Höhenpunkt im Rahmen des Internationalen Graduiertenkollegs 1215 "Materials and Concepts for Advanced Interconnects and Nanosystems" (IRTG) der TU Chemnitz ist für die beteiligten Doktoranden ein dreimonatiger Forschungsaufenthalt an einer der beteiligten Partner-Universität in Shanghai (China). Je nach Forschungsschwerpunkt der Studenten fällt die Entscheidung entweder für die JiaoTong oder die Fudan Universität. Ziel des Aufenthaltes ist neben der Kooperation im Interessengebiet ein gegenseitiger Erfahrungsaustausch. Über jedes Jahr verteilt gibt es im Rahmen des IRTG ca. drei Studenten, die nach Shanghai reisen dürfen, und im Austausch besuchen chinesische Studenten die Forschungseinrichtungen der TU Chemnitz.
Anfang diesen Jahres (Januar bis März) war ich als Gastwissenschaftler an der Fudan Universität. In der Arbeitsgruppe um Prof. Qu Xin-Ping untersuchte ich zusammen mit den chinesischen Kollegen den Einsatz von ALD-Schichten bei der Metallisierung von Siliziumdurchkontakten (Through Silicon Vias, TSV). Diese TSV sind derzeit ein Schwerpunkt der Forschung im Rahmen der dreidimensionalen oder vertikalen Systemintegration von Mikroelektronik und Mikrosystemen. Der Einsatz von ALD-Schichten hat im Gegensatz zu herkömmlichen Verfahren wie PVD oder CVD den Vorteil einer nahezu perfekten konformen Abscheidung und des Weiteren ist durch die geringere Temperaturbelastung die Beschichtung von empfindlichen Bauteilen möglich. Durch die anlagentechnischen Gegebenheiten an der Fudan Universität bestand die Möglichkeit, verschiedene ALD-Schichtsysteme hinsichtlich der Eignung als Startschichten für die elektrochemische Abscheidung in TSVs zu untersuchen.
Neben dem eigentlichen Zweck des Forschungsaustausches blieb auch Zeit für das Kennenlernen von Kultur, Land und Leuten, zum Beispiel durch einen Ausflug nach Peking mit Besuch der verbotenen Stadt und der Chinesischen Mauer. Eine spezielle Erfahrung durch den Aufenthalt zu Beginn des Jahres war das Fehlen von Zentralheizungen in allen Gebäuden. So war es bei Temperaturen um den Nullpunkt Normalzustand, dass man permanent (auf Arbeit oder im Restaurant) die Jacke angezogen ließ. Ein weiteres spezielles Erlebnis in der Jahreszeit war das Chinesische Neujahrsfest, das mit dem Neujahrswechsel am 22. Januar 2012 eingeläutet wurde. Für zwei Wochen herrschte Ausnahmezustand, da sich ganz China auf Reisen befand. Spektakulär (und bedenklich zugleich, im Sinne des Umweltschutzes) waren das Feuerwerk, das Abend für Abend gezündet wurde, und die Drachentanz-Umzüge, die dabei vollzogen wurden.
Durch Nutzung der im Rahmen des IRTG bestehenden Möglichkeit zur Belegung von Chinesisch-Sprachkursen, wurde das tägliche Leben in Shanghai um Einiges erleichtert. So war es zum Beispiel möglich, Preis-Verhandlungen auf dem Frischemarkt in der Landessprache anstatt mit Mimik und Gestik zu führen. Im Nachgang betrachtet waren die drei Monate in Shanghai - trotz anfänglicher Eingewöhnungsschwierigkeiten - nicht ausreichend, um China intensiv kennenzulernen, aber genug für einen ersten Eindruck, der sicher nicht der einzige gewesen sein wird.
(Autor: Lutz Hofmann)
Aktuell fand die Sommerschule des IRTG in Berlin statt - auch hier trafen sich deutsche und chinesische Promovenden: http://www.tu-chemnitz.de/tu/presse/aktuell/2/4471
Katharina Thehos
26.07.2012
