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Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz untersucht neue Materialien für den Einsatz in der Mikro- und Nanotechnologie. Das Bild zeigt so genannte Carbon Nano Tubes, die auf leitfähigen Substraten wachsen, in verschiedenen Vergrößerungen unter dem Elektronenmikroskop. Foto: ZfM

TUCaktuell Forschung

Metallisierung in der Mikro- und Nanoelektronik

Konferenz "MAM 2008 - Materials for Advanced Metallization" in Dresden thematisiert vom 2. bis 5. März 2008 Metallisierungen für miniaturisierte Bauteile

Zum 17. Mal veranstalten die Europäischen Mikroelektronikstandorte die Konferenz "MAM" (Materials for Advanced Metallization). Die diesjährige Veranstaltung vom 2. bis zum 5. März 2008 wird vom Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz organisiert. Die Leitung hat Dr. Stefan E. Schulz inne, der auch Co-Chair der Veranstaltung ist.

Auf der Konferenz in Dresden trifft sich die Elite im Bereich Metallisierungssysteme für die Mikro- und Nanoelektronik. Mehr als 160 angemeldete Gäste werden sich bei 34 Vorträgen und 50 Poster-Ausstellungen über das Thema austauschen. Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und der Institutsteil Chemnitz des Fraunhofer Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration stellen ihre wissenschaftlichen Ergebnisse vor.

Die eingeladenen Experten werden auf der Konferenz den gegenwärtigen Kenntnisstand als Basis für die Diskussion zwischen Material- und Naturwissenschaftlern und Ingenieuren präsentieren. Dabei stehen sowohl Themen der Grundlagenforschung als auch der angewandten Forschung und der Überführung in die Produktion im Mittelpunkt. Einen Fokus bilden neue Ansätze für Bauelemente der Nanoelektronik. Die Konferenz ist durch eine besondere Nähe zu den in Sachsen ansässigen Firmen der Mikroelektronik AMD, Qimonda und Infineon gekennzeichnet, deren Vertreter als Tagesgäste teilnehmen. Hochrangige Gäste der "MAM 2008" kommen unter anderem aus den USA und Japan.

Weitere Informationen erhalten Sie im Internet unter http://www.mam-conference.org oder unter Telefon 0371 531-24062, E-Mail info@mam-conference.org.

Katharina Thehos
29.02.2008

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