Zweite Runde für Forschergruppe „Sensorische Mikro- und Nanosysteme“
Forschergruppe „Sensorische Mikro- und Nanosysteme“ wird bis 2017 mit 2,3 Millionen Euro gefördert - Ingenieure, Physiker und Chemiker arbeiten an Mikro- und Nanotechnologien für intelligente Systeme
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Dieser thermische Aktor wurde während der ersten Förderphase von der Forschergruppe "Sensorische Mikro- und Nanosysteme" entwickelt. Foto: Zentrum für Mikrotechnologie -
Einige Mitglieder der Forschergruppe stellten diese Testplattform auf der Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft 2014 bei einer eigens für die Forschergruppe eingerichteten Vortrags- und Postersession „Sensorische Mikro- und Nanosysteme“ vor. Foto: Christian Wagner
2011 startete die erste Phase der Forschergruppe FOR 1713 „Sensorische Mikro- und Nanosysteme“ mit dem Ziel, die Grundlage für neue intelligente Systeme aufzubauen, die künftig noch besser Situationen beschreiben und bewerten, vorausschauend entscheiden und mit ihrer Umgebung kommunizieren können. Im Juli 2014 wurden die Ergebnisse und der neue Antrag vor der Deutschen Forschungsgemeinschaft erfolgreich präsentiert. Nun startet eine neue Förderphase, die bis 2017 läuft. Das Gesamtvolumen diese Phase liegt bei rund 2,3 Millionen Euro.
Smart Systems, also Intelligente Systeme, bilden die Hardware für das sogenannte Internet der Dinge. „Wir verstehen darunter intelligente technische Systeme mit erhöhter Funktionalität, die Sensorik, Aktorik, Datenauswertung und Kommunikation verbinden und möglichst autark mit Energie versorgt werden. Diese Systeme werden zunehmend mit der Fähigkeit ausgestattet, sich gegenseitig anzusprechen, zu identifizieren und in Konsortien zu arbeiten“, erklärt Prof. Dr. Thomas Geßner, Sprecher der Forschergruppe. „Doch das ist nicht alles“, setzt er fort: „Auch hier schreitet die Miniaturisierung voran. Sensoren basieren auf Nanostrukturen wie magnetischen Nanomembranen, Nanoelektromechanische Systeme auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren oder es werden Festkörperbauelemente wie Transistoren als sensorische Wandler eingesetzt.“
In diesem Bereich besteht erheblicher Bedarf an grundlagenorientierter Forschung mit hohem wissenschaftlichem Anspruch. Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung der Strukturgeometrien und der steigenden Komplexität der Komponenten und Systeme müssen die Entwurfsmethoden auf allen Abstraktionsebenen angepasst werden. Der Übergang von Mikro- zu Nanotechnologien führt zu neuen Prozessen und Materialien, die in die Halbleitertechnologie bzw. in Komponenten und Systeme zu integrieren sind. Zudem erfordern Strukturen im Nanometerbereich Charakterisierungsverfahren mit hoher Ortsauflösung und weiterentwickelte Modelle und Verfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung.
Im Zentrum der Forschungsvorhaben der zweiten Runde stehen deshalb die Theorie, die Entwurfsmethoden, die Prozesse und die Charakterisierung für die Integration von neuen Materialien und Nanotechnologien für Sensoranwendungen. Die methodischen Arbeiten werden in drei technologischen Linien verfolgt: „Modellierung und Integration von Nanoröhren“, „Neue Materialien und Technologien für Sensoranwendungen“ und „Nanosensoren auf Siliziumbasis“. Die an der Forschergruppe beteiligten Wissenschaftler an der TU Chemnitz arbeiten eng mit den Wissenschaftlern am Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS und dem Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung zusammen.
Weitere Informationen: http://www.zfm.tu-chemnitz.de/for1713/index.php.en
(Autorin: Dr. Martina Vogel)
Katharina Thehos
14.11.2014
