Praktika / Anleitungen
Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studenten bzw. Mitarbeiter der Technischen Universität Chemnitz zugänglich.
Technologiepraktikum
- Versuch V1 - Mikroskopie (1.4 MB)
- Versuch V2 - Fotolithografie (449 KB)
- Versuch V3 - Thermische Oxidation (186 KB)
- Versuch V4 - Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) (240 KB)
- Versuch V5 - Physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD) (653 KB)
- Versuch V6 - Naßchemisches Ätzen (736 KB)
- Versuch V7 - Trockenätzen (403 KB)
- Versuch V8 - Montage/Bonden (1.6 MB)
- Versuch V9 - Simulation von Dotierungsprozessen (5.4 MB)
