Derzeit keine Lehrveranstaltung!

• Sprache: Englisch
• Teilnehmer:
• wahlobligatorisch: M_MN, M_MSMN
• Lehrformen:
• Vorlesung: 2 LVS im Wintersemester
• Übung: 2 LVS im Wintersemester
• Prüfung: Klausur (90 min)
• Leistungspunkte: 5
• Arbeitsaufwand: 150 AS

Die Studenten erlangen Kenntnisse auf dem Gebiet der fehleranalytischen Methoden für Mikro- und Nanosysteme und verstehen die zugrundeliegenden physikalischen Prinzipien. Sie sind in der Lage, ihr Wissen auf typische Szenarien bei der Material- und Fehleranalyse im Rahmen einer Systemintegration im Mikro- und Nanobereich anzuwenden. Dabei können sie einen Bezug zur thermo-mechanischen Zuverlässigkeit herstellen. Aus dem Praktikum kennen sie typische Resultate (Fehlerbilder) sowie Limitierungen und haben Kenntnisse zur Kontrastentstehung und zu parasitären Effekten. Sie haben ein starkes interdisziplinäres Verständnis zu Werkstoffen und elektronischen Systemen in Grundlagen und Anwendung.

Motivation und Anknüpfung an die Herausforderungen der Systemintegration: Mikro- und Nanosysteme, Zuverlässigkeit, Fehlermöglichkeiten & Industrierelevanz. Vermittlung der Grundlagen, Anwendung und Bewertung der folgenden Methoden/Techniken:

• Ultraschallmikroskopie (SAM)
• Rasterlektronenmikroskopie (REM) und fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB)
• Transmissionselektronenmikroskoopie (TEM)
• Energiedispersive Rüntgenspektroskopie (EDX),
• Elektronrückstreubeugung (EBSD)
• Röntgenbeugung (XRD)
• Raman-Spektroskopie
• Atomkraftmikroskopie (AFM)
• Infrarotthermographie (IRT) & Thermoreflektanz (TR)
• Photoelektronenspektroskopie (XPS)
• Computertomographie (CT)