Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems
Verantwortlich: Prof. Dr. Bernhard Wunderle
Diese Lehrveranstaltung wird in ausschließlich englischer Sprache unter dem Orginaltitel "Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems" gehalten.
Für diese Lehrveranstaltung gibt es kein deutschsprachiges Pendant.
Alle Unterlagen sowie aktuelle Informationen sind abrufbar über den OPAL-Kurs: Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems .Offizielle Termine der Lehrveranstaltung in diesem Semester
Allgemeine Informationen
- Sprache: Englisch
- Teilnehmer:
- wahlobligatorisch: M_MN, M_MSMN
- Lehrformen:
- Vorlesung: 2 LVS im Wintersemester
- Übung: 2 LVS im Wintersemester
- Prüfung: Klausur (90 min)
- Leistungspunkte: 5
- Arbeitsaufwand: 150 AS
Qualifikationsziele
Die Studenten erlangen Kenntnisse auf dem Gebiet der fehleranalytischen Methoden für Mikro- und Nanosysteme und verstehen die zugrundeliegenden physikalischen Prinzipien.
Sie sind in der Lage, ihr Wissen auf typische Szenarien bei der Material- und Fehleranalyse im Rahmen einer Systemintegration im Mikro- und Nanobereich anzuwenden.
Dabei können sie einen Bezug zur thermo-mechanischen Zuverlässigkeit herstellen.
Aus dem Praktikum kennen sie typische Resultate (Fehlerbilder) sowie Limitierungen und haben Kenntnisse zur Kontrastentstehung und zu parasitären Effekten.
Sie haben ein starkes interdisziplinäres Verständnis zu Werkstoffen und elektronischen Systemen in Grundlagen und Anwendung.
Inhalt
Motivation und Anknüpfung an die Herausforderungen der Systemintegration: Mikro- und Nanosysteme, Zuverlässigkeit, Fehlermöglichkeiten & Industrierelevanz.
Vermittlung der Grundlagen, Anwendung und Bewertung der folgenden Methoden/Techniken:
- Ultraschallmikroskopie (SAM)
- Rasterlektronenmikroskopie (REM) und fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB)
- Transmissionselektronenmikroskoopie (TEM)
- Energiedispersive Rüntgenspektroskopie (EDX),
- Elektronrückstreubeugung (EBSD)
- Röntgenbeugung (XRD)
- Raman-Spektroskopie
- Atomkraftmikroskopie (AFM)
- Infrarotthermographie (IRT) & Thermoreflektanz (TR)
- Photoelektronenspektroskopie (XPS)
- Computertomographie (CT)
